镍靶材及镍靶材组件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种镍靶材及镍靶材组件的制造方法，镍靶材的制作方法，包括：提供镍锭；对镍锭热锻，形成第一镍靶材坯料；对第一镍靶材坯料第一热处理，形成第二镍靶材坯料，第一热处理温度为450℃～550℃，保温1小时～2小时；第一热处理后，对第二镍靶材坯料热轧，形成第三镍靶材坯料；对第三镍靶材坯料第二热处理，形成第四镍靶材坯料，所述第一热处理温度为300℃～500℃，保温1小时～2小时；第二热处理后，对第四镍靶材坯料冷轧，形成第五镍靶材坯料；对第五镍靶材坯料进行第三热处理，形成镍靶材，第三热处理温度为200℃～300℃，保温1小时～2小时。采用本发明专利技术技术方案制造的镍靶材内部组织比较均匀，磁性能好。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种镍靶材的制造方法，其特征在于，包括：提供镍锭；对所述镍锭进行热锻，形成第一镍靶材坯料；对所述第一镍靶材坯料进行第一热处理，形成第二镍靶材坯料，所述第一热处理的温度为450℃～550℃，保温时间为1小时～2小时；第一热处理后，对所述第二镍靶材坯料进行热轧，形成第三镍靶材坯料；对所述第三镍靶材坯料进行第二热处理，形成第四镍靶材坯料，所述第二热处理的温度为300℃～500℃，保温时间为1小时～2小时；第二热处理后，对所述第四镍靶材坯料进行冷轧，形成第五镍靶材坯料；对所述第五镍靶材坯料进行第三热处理，形成镍靶材，所述第三热处理的温度为200℃～300℃，保温时间为1小时～2小时。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，相原俊夫，大岩一彦，潘杰，王学泽，袁海军，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：