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本发明提供一种沉积装置及使用该沉积装置测量沉积材料的剩余量的方法。所述沉积装置包括：包括观测窗的处理室、布置在处理室中以在第一方向上与观测窗重叠的坩埚、布置在观测窗与坩埚之间以在第一方向上与观测窗重叠并且关于第一方向旋转的盘片、联接至处理室...
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