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一种修整盘清洗用刷、清洗装置以及清洗方法，能够在清洗CMP装置的修整盘时，有效地将从修整盘分离的尘埃排出到清洗系统的外部并使得尘埃不会再次附着。其构成为：在清洗用刷（3）的上表面突出设置有多根刷子（31a），清洗用刷（3）的内部设有供喷出清...
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