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破碎多晶硅棒的装置和方法制造方法及图纸
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文档序号:9657713
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本发明涉及用于破碎多晶硅棒的装置,该装置包括底座以及至少一个可移动的破碎凿及至少一个不可移动的砧座,其中至少一个破碎凿的纵轴以平行于或者几乎平行于底座的表面的方式取向,其中位于底座的表面上的待破碎的硅棒能够各自在破碎凿与砧座之间以如下方式加...
该专利属于瓦克化学股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过瓦克化学股份公司授权不得商用。
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