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局部分级深度材料光栅超慢太赫兹波导制造技术
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文档序号:9653207
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本实用新型涉及金属或半导体光栅、波导技术领域,为解决太赫兹波低速传输的问题,精确控制太赫兹波传输速率,且结构简单,结果精确可控,具有可操作性,为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是,局部分级深度材料光栅超慢太赫兹波导,在局部分级深度材料...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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