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本发明涉及清洗剂和玻璃基板的清洗方法。在不损害用含氧化铈的研磨剂研磨后的玻璃基板的平坦性的情况下，将残留、附着于表面上的研磨磨粒分散、除去。该清洗剂是用于对用含氧化铈的研磨剂研磨后的玻璃基板进行清洗的、包含(A)有机膦酸、(B)多元羧酸盐、...
该专利属于旭硝子株式会社;帕卡股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过旭硝子株式会社;帕卡股份有限公司授权不得商用。

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