下载一种用于非制冷红外焦平面探测器电极图形化的剥离工艺的技术资料

文档序号:9643301

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本发明公开了一种用于非制冷红外焦平面探测器电极图形化的剥离工艺,首先形成第一层牺牲层,然后沉积并刻蚀形成第二层牺牲层,其图形与所需电极引线互补;然后去除第一层牺牲层,之后溅射金属层。最后去除第二层牺牲层,得到所需金属电极引线图形。本发明的方...
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