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本发明涉及坩埚加热设备和方法。本发明提出了一种坩埚加热方法，包括如下步骤：步骤1：设置根据本发明的坩埚加热设备；步骤2：将待蒸发的材料放入坩埚中；步骤3：将所述电热丝的不同分段分别设置成初始的发热功率；步骤4：蒸发所述材料并通过所述测量单元...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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