【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及坩埚加热设备和方法。本专利技术提出了一种坩埚加热方法，包括如下步骤：步骤1：设置根据本专利技术的坩埚加热设备；步骤2：将待蒸发的材料放入坩埚中；步骤3：将所述电热丝的不同分段分别设置成初始的发热功率；步骤4：蒸发所述材料并通过所述测量单元监控所述坩埚中材料的液位位置；步骤5：根据所述材料的液位位置调节所述电热丝的不同分段的发热功率，直至材料蒸发至所需的程度。本专利技术还提出了一种干锅加热设备。根据本专利技术的设备和方法，加大了坩埚的材料填充量，减少开腔次数，提高了机台使用率。【专利说明】
本专利技术涉及一种，其具有改善的温控功能。
技术介绍
坩埚是用极耐火的材料(如粘土、石墨、瓷土、石英或较难熔化的金属铁等)所制作 的器皿或熔化罐。坩埚通常为一陶瓷深底的碗状容器。当有固体需要以大火加热时，就必须 使用坩埚。因为它比玻璃器皿更能承受高温。在使用坩埚时，通常会将坩埚盖斜放在坩埚 上，以防止受热物跳出，并让空气能自由进出以进行可能的氧化反应。坩埚因其底部很小， 一般需要架在泥三角上才能以火直接加热。坩埚在铁三角架上用正放或斜放皆可，视实...
【技术保护点】
一种坩埚加热设备，包括坩埚、围绕在所述坩埚外部的金属筒、缠绕在所述金属筒和所述坩埚之间的电热丝、用于测量坩埚内材料液位位置的测量单元以及控制器，其特征在于，所述电热丝包括沿纵向方向设置的至少两个分段，所述控制器分别控制各个分段的发热功率，从而将所述坩埚分为至少两个相应的温控区域。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张鑫狄，李冠政，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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