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一种碳化硅晶须的制作方法，该方法包括下列步骤：步骤一，将石墨及其他碳质原料与硅质原料粉碎充分混合，其碳质原料与硅质原料重量比为1:2；步骤二，将步骤一的混合原料装在有充氮气的真空感应炉以15~20℃∕分钟升温，在1300~1700℃保温2~...
该专利属于栾晓明所有，仅供学习研究参考，未经过栾晓明授权不得商用。

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