温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及用于致动微光刻投影曝光设备中的元件的装置。按照本发明的一方面，一种用于致动微光刻投影曝光设备中的元件的装置具有：至少两个致动器（620，630，720，730，820，830），其经由机械耦合（621，631，721，731，82...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司;ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司;ASML荷兰有限公司授权不得商用。