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本发明涉及一种扩散腔室，在太阳能电池板基板处理期间排除了气态硒化物物种向大气的迁移和泄露，该腔室包括：框架，支承着一种存放腔室，存放腔室内约束有一种密封处理腔室；与密封处理腔室的外部成流体连通的第一流体处置系统/热源模块；以及，与密封处理腔...
该专利属于普尔·文图拉公司所有，仅供学习研究参考，未经过普尔·文图拉公司授权不得商用。

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