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一种大角度旋转的大行程磁浮运动平台，主要应用于半导体加工制造和检测设备中。该运动平台含有动子、定子、基座和测量系统组成，动子采用二维永磁阵列，定子的线圈阵列采用空心圆柱型线圈；利用三轴陀螺仪、三轴加速度计和电涡流传感器实现六自由度粗测量，利...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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