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带有分布反馈光栅和多孔波导量子级联激光器及制作方法技术
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下载带有分布反馈光栅和多孔波导量子级联激光器及制作方法的技术资料
文档序号:9619846
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一种带有分布反馈光栅和多孔波导量子级联激光器,包括:一衬底;一下波导层生长在衬底的中间部位;一量子级联有源区结构生长在下波导层上;一掩埋光栅层生长在量子级联有源区结构上;一低掺层生长在掩埋光栅层上;一高掺层生长在低掺层的中间部位;一多孔结构...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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