下载一种水平结构沟槽肖特基半导体装置及其制备方法的技术资料

文档序号:9619515

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本发明公开了一种水平结构沟槽肖特基半导体装置;本发明的半导体装具有比传统的垂直平面肖特基二极管具有更大的导通面积,因此具有更高的电流密度;本发明的半导体装设置有反型层或器件表面的第二导电半导体材料,在反向偏压时其可以与漂移进行电荷补偿,改善...
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