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提供一种基板检查装置及基板检查方法，检查成本不会上涨，充分缩短检查时间，并且无论是表面安装还是内置，都能可靠地检查出是否不合格。在检查安装有电容性元件（30）的检查对象基板（20）时，使各检查用探头（11）相对于检查对象基板（20）移动，用...
该专利属于日置电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日置电机株式会社授权不得商用。

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