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沉积设备、制造有机发光显示设备的方法及显示设备技术
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文档序号:9615030
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一种有机层沉积设备,所述有机层沉积设备包括:输送器单元,包括用于附着基底的传送单元、第一输送器单元和第二输送器单元;以及沉积单元,包括真空室以及用于将有机层沉积在基底上的有机层沉积组件。有机层沉积组件包括:沉积源,用于排放沉积材料;沉积源喷...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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