沉积设备、制造有机发光显示设备的方法及显示设备技术

一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送器单元，包括用于附着基底的传送单元、第一输送器单元和第二输送器单元；以及沉积单元，包括真空室以及用于将有机层沉积在基底上的有机层沉积组件。有机层沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；以及沉积源快门，沿第一方向移动并选择性地阻挡在沉积源中蒸发的沉积材料。传送单元在第一输送器单元和第二输送器单元之间移动。传送单元使附着的基底在被第一输送器单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开。

Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display device, and display device

An organic layer deposition device, the organic layer deposition apparatus includes a conveyor unit, including substrate for attachment of transmission unit, the first unit and the second conveyor conveyor unit; and sedimentary unit, which comprises a vacuum chamber and for the organic layer deposited on the substrate of organic component layer deposition. The organic layer deposition assembly includes a deposition source for the emission of sedimentary materials; sedimentary source nozzle unit includes a plurality of nozzle deposition source; patterned sheet comprises a plurality of patterned gap, gap is arranged along a first direction; and a deposition source shutter is moved in a first direction and selectively blocking material deposited in sedimentary source in evaporation. The transport unit moves between the first conveyor unit and the second conveyor unit. The transfer unit separates the attached substrate from the organic layer deposition component while being transmitted by the first conveyor unit.

【技术实现步骤摘要】
沉积设备、制造有机发光显示设备的方法及显示设备本申请要求于2012年7月16日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0077361号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的公开通过引用被完全包含于此 。
本专利技术涉及一种有机层沉积设备、利用该有机层沉积设备制造有机发光显示设备的方法以及由该方法制造的有机发光显示设备。
技术介绍
有机发光显示装置具有比其它显示装置更宽的视角、更好的对比度特性和更快的响应速度，因此已经作为下一代显示装置而受到关注。有机发光显示装置包括设置在第一电极和第二电极之间的中间层(包括发射层)。可以利用各种方法来形成所述电极和中间层，这些方法之一是独立的沉积方法。当通过利用沉积方法制造有机发光显示装置时，将具有与将要形成的有机层的图案相同的图案的精细金属掩模(FMM)通常设置为与其上将形成有机层等的基底紧密接触，将有机层材料沉积在FMM上，以形成具有期望图案的有机层。然而，利用这种FMM的沉积方法在利用大的母玻璃制造较大的有机发光显示装置时存在困难。例如，当使用这种大的掩模时，掩模会由于自身重力而弯曲，从而使图案扭曲。考虑到朝着高分辨率图案发展的近期趋势，这种缺点可能使得FMM方法不合需要。另外，将基底与FMM对准以彼此紧密接触的工艺、在基底上执行沉积的工艺以及将FMM与基底分开的工艺耗费时间，导致制造时间长并且生产效率低。在本
技术介绍
部分公开的信息对于本专利技术的专利技术人来说在实现本专利技术之前是已知的，或者所述信息是在实现本专利技术的过程中获取的技术信息。因此，它可能包含在本专利技术人完成本专利技术的时间以前对于本领域普通技术人员来说在本国不构成已知的现有技术或信息的信息。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种适用于在大基底上大规模生产有机发光显示设备并能实现高分辨率的图案化的有机层沉积设备。还提供了一种通过使用有机层沉积设备制造有机发光显示设备的方法，以及通过该方法制造的有机发光显示设备。一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括:输送器单元，包括用于附着基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将附着有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送器单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送器单元；以及沉积单元，包括被构造为保持在真空状态下的室以及用于将有机层沉积在附着到传送单元的基底上的有机层沉积组件。有机层沉积组件包括:沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；以及沉积源快门，能够沿第一方向移动并被构造为选择性地阻挡在沉积源中蒸发的沉积材料。传送单元被构造为在第一输送器单元和第二输送器单元之间移动，并被构造为使附着的基底在被第一输送器单兀传送的同时与有机层沉积组件分隔开。有机层沉积组件还可包括角度限定板，角度限定板在沉积源的一侧以引导在沉积源中蒸发的沉积材料的流路径。角度限定板可以围绕沉积源的一部分。沉积源快门可包括具有平板形状的第一沉积源快门和第二沉积源快门，沉积源可由于第一沉积源快门和第二沉积源快门的移动而打开或关闭。沉积源快门可包括第一沉积源快门和第二沉积源快门，第一沉积源快门和第二沉积源快门中的每个可包括平板部分和从平板部分弯曲的倾斜部分。槽可以在倾斜部分的一端并对应于所述多个沉积源喷嘴中的一个。倾斜部分可被构造为引导在沉积源中蒸发的沉积材料的流路径。沉积源可由于第一沉积源快门和第二沉积源快门的移动而打开或关闭。所述有机层沉积设备还可包括控制传感器，控制传感器在沉积源的一侧，以测量在沉积源中蒸发的沉积材料的沉积速率。控制传感器可被构造为在传送单元与基底一起移动的同时测量沉积材料的沉积速率，可利用沉积速率来控制在沉积源中蒸发的沉积材料的蒸发量。可控制由控制传感器测量的沉积源的沉积速率，从而以目标厚度在基底上沉积沉积材料。第一输送器单元和第二输送器单元可穿过沉积单元。[0021 ] 第一输送器单元和第二输送器单元可以平行地布置在彼此上方。有机层沉积设备还可包括:加载单元，用于将基底附着到传送单元；以及卸载单元，用于将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开。第一输送器单元可被构造为将传送单元顺序地传递至加载单元、沉积单元和卸载单元。第二输送器单元可被构造为将传送单元顺序地传递至卸载单元、沉积单元和加载单元。有机层沉积组件可被构造为使得从沉积源排放的沉积材料穿过图案化缝隙片，并随后被沉积在基底上，同时沉积材料在基底上形成图案。有机层沉积组件的图案化缝隙片可以在第一方向或与第一方向垂直的第二方向中的至少一个中比基底小。沉积源喷嘴单元的所述多个沉积源喷嘴可以沿第一方向布置，图案化缝隙片的所述多个图案化缝隙可以沿第一方向布置，有机层沉积设备还可包括屏蔽板组件，屏蔽板组件包括多个屏蔽板，所述多个屏蔽板在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间沿第一方向布置，并且所述多个屏蔽板将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间分隔为多个沉积空间。多个屏 蔽板中的每个可以沿与第一方向基本垂直的第二方向延伸。屏蔽板组件可包括具有多个第一屏蔽板的第一屏蔽板组件和具有多个第二屏蔽板的第二屏蔽板组件。所述多个第一屏蔽板中的每个以及所述多个第二屏蔽板中的每个可以沿与第一方向基本垂直的第二方向布置，并可将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间分隔为所述多个沉积空间。沉积源喷嘴单元的所述多个沉积源喷嘴可以沿第一方向布置，并且图案化缝隙片的所述多个图案化缝隙可以沿与第一方向垂直的第二方向布置。沉积源和沉积源喷嘴单元以及图案化缝隙片可以通过使用连接构件一体地结合。连接构件可以被构造为引导沉积材料的流路径。连接构件可以使沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间与外部密封。在根据本专利技术的另一实施例中，提供了一种制造有机发光显示设备的方法。该方法包括下述步骤:通过利用穿过室的第一输送器单元将附着有基底的传送单元移动到所述室中；在所述室中的多个有机层沉积组件与基底彼此分隔开的情况下，在基底关于有机层沉积组件相对移动的同时，通过在基底上沉积从有机层沉积组件排放的沉积材料形成有机层；通过使用穿过所述室的第二输送器单元使与基底分开的传送单元移动。有机层沉积组件中的每个包括:沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并包括多个图案化缝隙；以及沉积源快门，能够沿第一方向移动并被构造为选择性地阻挡在沉积源中蒸发的沉积材料。沉积沉积材料的步骤包括利用沉积源快门通过顺序地打开或关闭多个沉积源来测量所述多个沉积源中的每个沉积源的沉积速率。每个有机层沉积组件还可包括位于沉积源的一侧的角度限定板，以引导在沉积源中蒸发的沉积材料的流路径。沉积源快门可包括具有平板形状的第一沉积源快门和第二沉积源快门，所述多个沉积源可以由于第一沉积源快门和第二沉积源快门的移动而打开或关闭。沉积源快门可包括第一沉积源快门和第二沉积源快门，并且第一沉积源快门和第二沉积源快门中的每个可包括平板部分和从平板部分弯曲的倾斜部分。槽可以位于倾斜部分的一端并对应于所述多个沉积源喷嘴中的一个。倾斜部分可被构造为引导在沉积源中蒸发的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送器单元，包括用于附着基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将附着有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送器单元和用于在已经完成沉积之后将与基底分开的传送单元沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送器单元；以及沉积单元，包括被构造成保持在真空状态下的室以及用于将有机层沉积在附着于传送单元的基底上的有机层沉积组件，其中，有机层沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；以及沉积源快门，能够沿第一方向移动并被构造为选择性地阻挡在沉积源中蒸发的沉积材料，其中，传送单元被构造为在第一输送器单元和第二输送器单元之间移动，并被构造为使附着的基底在被第一输送器单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开。

【技术特征摘要】
2012.07.16 KR 10-2012-00773611.一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括: 输送器单元，包括用于附着基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将附着有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送器单元和用于在已经完成沉积之后将与基底分开的传送单兀沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送器单兀；以及 沉积单元，包括被构造成保持在真空状态下的室以及用于将有机层沉积在附着于传送单元的基底上的有机层沉积组件， 其中，有机层沉积组件包括: 沉积源，用于排放沉积材料； 沉积源喷嘴单元，在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴； 图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；以及 沉积源快门，能够沿第一方向移动并被构造为选择性地阻挡在沉积源中蒸发的沉积材料， 其中，传送单元被构造为在第一输送器单元和第二输送器单元之间移动，并被构造为使附着的基底在被第一输送器单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开。2.如权利要求1所述的 有机层沉积设备，其中，有机层沉积组件还包括角度限定板，角度限定板在沉积源的一侧以引导在沉积源中蒸发的沉积材料的流路径。3.如权利要求2所述的 有机层沉积设备，其中，角度限定板围绕沉积源的一部分。4.如权利要求2所述的有机层沉积设备，其中，沉积源快门包括具有平板形状的第一沉积源快门和第二沉积源快门，沉积源由于第一沉积源快门和第二沉积源快门的移动而打开或关闭。5.如权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，沉积源快门包括第一沉积源快门和第二沉积源快门，并且 其中，第一沉积源快门和第二沉积源快门中的每个包括平板部分和从平板部分弯曲的倾斜部分。6.如权利要求5所述的有机层沉积设备，其中，槽在倾斜部分的一端并对应于所述多个沉积源喷嘴中的一个。7.如权利要求5所述的有机层沉积设备，其中，倾斜部分被构造为引导在沉积源中蒸发的沉积材料的流路径。8.如权利要求5所述的有机层沉积设备，其中，沉积源由于第一沉积源快门和第二沉积源快门的移动而打开或关闭。9.如权利要求1所述的有机层沉积设备，所述有机层沉积设备还包括控制传感器，控制传感器在沉积源的一侧，以测量在沉积源中蒸发的沉积材料的沉积速率。10.如权利要求9所述的有机层沉积设备，其中，控制传感器被构造为在传送单元与基底一起移动的同时测量沉积材料的沉积速率,并且 其中，利用沉积速率来控制在沉积源中蒸发的沉积材料的蒸发量。11.如权利要求10所述的有机层沉积设备，其中，控制由控制传感器测量的沉积源的沉积速率，从而以目标厚度在基底上沉积沉积材料。12.如权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第一输送器单元和第二输送器单元穿过沉积单元。13.如权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第一输送器单元和第二输送器单元平行地布置在彼此上方。14.如权利要求1所述的有机层沉积设备，所述有机层沉积设备还包括: 加载单元，用于将基底附着到传送单元；以及 卸载单元，用于将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开。15.如权利要求14所述的有机层沉积设备，其中，第一输送器单元被构造为将传送单元顺序地传递至加载单元、沉积单元和卸载单元。16.如权利要求14所述的有机层沉积设备，其中，第二输送器单元被构造为将传送单元顺序地传递至卸载单元、沉积单元和加载单元。17.如权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，有机层沉积组件被构造为使得从沉积源排放的沉积材料穿过图案化缝隙片，并随后被沉积在基底上，同时沉积材料在基底上形成图案。18.如权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，有机层沉积组件的图案化缝隙片在第一方向或与第一方向垂直的第二方向中的至少一个中比基底小。19.如权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，沉积源喷嘴单元的所述多个沉积源喷嘴沿第一方向布置， 其中，图案化缝隙片的所述多个图案化缝隙沿第一方向布置，并且 其中，有机层沉积 设备还包括屏蔽板组件，屏蔽板组件包括多个屏蔽板，所述多个屏蔽板在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间沿第一方向布置，并且所述多个屏蔽板将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间分隔为多个沉积空间。20.如权利要求19所述的有机层沉积设备，其中，所述多个屏蔽板中的每个沿与第一方向基本垂直的第二方向延伸。21.如权利要求19所述的有机层沉积设备，其中，屏蔽板组件包括具有多个第一屏蔽板的第一屏蔽板组件和具有多个第二屏蔽板的第二屏蔽板组件。22.如权利要求21所述的有机层沉积设备，其中，所述多个第一屏蔽板中的每个以及所述多个第二屏蔽板中的每个沿与第一方向基本垂直的第二方向布置，并将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间分隔为所述多个沉积空间。23.如权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，沉积源喷嘴单元的所述多个沉积源喷嘴沿第一方向布置，并且 其中，图案化缝隙片的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔永默，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：