下载一种多晶硅快速凝固方法的技术资料

文档序号:9613260

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本发明涉及一种多晶硅逆向凝固方法,属于多晶硅生产领域。一种多晶硅快速凝固方法,包括备料、熔炼、凝固的步骤,所述凝固步骤按下述方法进行:将置于多晶硅逆向凝固装置中硅液进行定向凝固,当剩余的硅液体积为初始体积的1%~25%时,停止凝固;使温度为...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。

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