温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及了一种薄膜衬底清洗装置，包括基座和基座盖，基座盖布置若干筛孔，基座盖由其上设置的提杆与基座可拆卸连接；基座下表面向上凹进形成底槽，所述底槽与基座上表面开有若干圆通孔，且在基座下边缘设置有开口。本实用新型的薄膜衬底清洗装置有如下...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。