下载经由廉价软光刻抑制聚合物膜的反润湿的技术资料

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一种用于在基底上产生图案化聚合物膜的方法,其包括以下步骤:用聚合物膜涂布基底;将图案化掩模放到所述聚合物膜的表面上,所述图案化掩模具有至少一个图案部分,所述图案部分所具有的尺寸小于所述聚合物膜的毛细波长;通过溶剂退火或涉及使所述聚合物膜的温...
该专利属于阿克伦大学所有,仅供学习研究参考,未经过阿克伦大学授权不得商用。

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