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本发明公开了一种用于在工件处理过程中支撑工件的装置，该装置包含有：底座，其具有和真空源相连的真空腔室；支撑设备，其可相对于底座旋转，该支撑设备具有中空的间隔和支撑表面以固定工件；以及在该底座和支撑设备之间设置有一个或一个以上的密封设备，以在...
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