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在半导体芯片器件中的集成缺陷检测及定位系统和方法技术方案
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下载在半导体芯片器件中的集成缺陷检测及定位系统和方法的技术资料
文档序号:9597965
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本发明涉及在半导体芯片器件中的集成缺陷检测及定位系统和方法。实施例涉及用于半导体芯片中的缺陷检测和定位的系统和方法。在一个实施例中,多个寄存器被布置在半导体芯片中。寄存器的具体数目能够根据所期定位水平而改变,并且该多个寄存器在几何学上分布从...
该专利属于英飞凌科技奥地利有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技奥地利有限公司授权不得商用。
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