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本发明公开一种基于沟槽方式的通道分压场效应管及生产方法,其利用沟槽方式,再通过扩散制作一n型通道连接沟道与漏极,n型通道所形成的十字型结构或T字形也是3D结构,PN之间形成空乏区(耗尽层)从单一的垂直方向改变为垂直与水平两个方向,这样可以大...该专利属于桂林斯壮微电子有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过桂林斯壮微电子有限责任公司授权不得商用。
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本发明公开一种基于沟槽方式的通道分压场效应管及生产方法,其利用沟槽方式,再通过扩散制作一n型通道连接沟道与漏极,n型通道所形成的十字型结构或T字形也是3D结构,PN之间形成空乏区(耗尽层)从单一的垂直方向改变为垂直与水平两个方向,这样可以大...