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一种高度测量装置及其测量方法制造方法及图纸
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文档序号:9596119
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一种高度测量装置及其测量方法,光源产生线偏振光,经过偏振分光器分为第一偏振光和第二偏振光;第二偏振光倾斜入射到被测物体表面形成偏振反射光,第一偏振光、偏振反射光分别通过第一、二四分之一波片入射到第一、二反射镜并沿原路返回,经过偏振分光器分别...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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