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文档序号:9588401
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一种激光切割方法,与时钟信号同步地使用脉冲选择器控制脉冲激光束的通过和截断,从而以光脉冲为单位切换脉冲激光束向被加工基板的照射和非照射,以裂纹在被加工基板表面上连续的方式形成在被加工基板到达基板表面的裂纹,该激光切割方法具有:第一裂纹形成步...
该专利属于东芝机械株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东芝机械株式会社授权不得商用。
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