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本发明公开了一种制造惯性传感器的方法。惯性传感器包括至少一个测量梁（23）和一个由标准质量块（13）以及可变形板（14）构成的活性体，所述活性体通过板（14）被保持悬浮在一个密闭腔内，测量梁（23）将与标准质量块（13）的一部分连接至前述密...
该专利属于电子微系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过电子微系统公司授权不得商用。

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