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热处理方法和热处理装置制造方法及图纸
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文档序号:9570026
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本发明的课题是提供一种能够不损伤被处理体中所含的树脂地对被处理体进行光照射加热的热处理方法和热处理装置。本发明的解决方案是在腔室(10)内的保持板(20)与闪光灯(FL)之间,配置了去除波长在400nm以下的紫外光的光学过滤器(60)。从闪...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。
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