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离子导引装置和离子导引方法制造方法及图纸
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文档序号:9570006
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本发明提出一种离子导引装置和离子导引方法。本发明的离子导引装置包括:多个环形组件,多个环形组件沿同一中心轴线并排分布,其中每个环形组件由多个分立的分段电极围成;电源装置,其将相位相异的射频电压提供至每个环形组件的相邻的分段电极上,将相位相异...
该专利属于株式会社岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。
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