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本发明公布了一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头，包括多个以阵列、非对称方式均布在上层的主动式弹性取样上片和多个对应的设置在下层的主动式弹性取样下片；所述主动式弹性取样上、下片上分别设置有用于定位所述主动式弹性取样上、下片的绝缘件；所...
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