下载具有表面纹路的抛光垫和其制造方法与制造装置的技术资料

文档序号:950209

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本发明涉及一种具有表面纹路的抛光垫和其制造方法,所述制造方法包括以下步骤:(a)提供一基材,所述基材具有一用于抛光一待抛光物件的表面;(b)提供一可自由移动的高能量激光;和(c)利用所述高能量激光于所述基材的所述表面上形成一表面纹路。借此,...
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