下载具有点标记的半导体基板及其制造方法的技术资料

文档序号:9494166

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本发明提供具有点标记的半导体基板。特别地,提供具有读取率提高的点标记的半导体基板。该半导体基板具有由倒锥台状的凹部构成的多个点标记,该多个点标记构成配置于0.25mm2~9mm2的矩形区域的二维码。凹部的口径W为20μm~200μm,且大于...
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