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包括具有集成加热的传感器元件的蒸气传感器制造技术
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下载包括具有集成加热的传感器元件的蒸气传感器的技术资料
文档序号:9493949
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本发明公开了一种蒸气传感器,所述蒸气传感器包括电容相关特性型传感器元件(110)、加热器电路元件(170)、电容相关特性型测量电路元件(180)、和至少一个开关构件(190)。所述电容相关特性型传感器元件包括介电基底(120)、第一导电电极...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。
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