【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术公开了一种蒸气传感器，所述蒸气传感器包括电容相关特性型传感器元件(110)、加热器电路元件(170)、电容相关特性型测量电路元件(180)、和至少一个开关构件(190)。所述电容相关特性型传感器元件包括介电基底(120)、第一导电电极(130)、第二导电电极(140)、以及设置在所述第一导电电极和所述第二导电电极之间并且与它们接触的介电微孔材料层(150)。所述至少一个开关构件能够中断所述第一导电电极与所述加热器电路元件之间的电导通、以及所述电容相关特性型测量电路元件与所述第一导电电极之间的电导通。【专利说明】包括具有集成加热的传感器元件的蒸气传感器
本专利技术广义地涉及蒸气传感器。
技术介绍
在多个研究领域中，需要监测蒸气的存在及其在空气中的浓度。已经开发出多种用于检测蒸气(如，挥发性有机化合物(VOC))的方法，所述方法包括(例如)光离子化法、气相色谱法、重量分析技术、光谱技术(如质谱法、红外光谱法、或荧光光谱法)、和吸收感测技术。在电容传感器中，两个导电电极的电容(通常平行或交叉)随着两个电极之间的材料的介电常数的改变(归因于所...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·C·帕拉佐托，J·藤格琼雅萨姆，S·H·格里斯卡，M·S·文德兰德，
申请(专利权)人：三M创新有限公司，
类型：
国别省市：
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