下载层叠研磨垫的技术资料

文档序号:9493279

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本发明的目的在于提供一种即使经长时间的研磨变得高温的情况下,研磨层和支持层之间也难以剥离的长寿命的层叠研磨垫。本发明的层叠研磨垫特征在于:藉由粘结材料层叠研磨层和支持层的层叠研磨垫,所述粘结材料是含有聚酯类热熔粘结剂的粘结剂层、或在基材的两...
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