下载一种铝金属线的制作方法的技术资料

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一种铝金属线制作方法,包括粘合层沉积工艺、铝金属层沉积工艺、抗反射膜沉积工艺、铝金属线刻蚀工艺以及电介质层沉积工艺,所述粘合层沉积工艺包括以离子化金属工艺在衬底上沉积钛层,并在沉积过程中,对沉积表面施加一方向控制电场,使钛层晶粒的沉积方向一...
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