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本发明提供一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴，包括：喷嘴主体和挡流板；喷嘴主体包括一呈U型的主腔室，以及位于主腔室两侧且与主腔室相连通的显影液入口和显影液出口；挡流板的横截面呈T型，插装于主腔室，挡流板密封主腔室口部，挡流板的两T形端面贴于主腔...
该专利属于清华大学深圳研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学深圳研究生院授权不得商用。

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