下载具有复合偏光片的光掩膜与优化不同图案的成像方法的技术资料

文档序号:9489404

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本发明公开了一种具有复合偏光片的光掩膜,其结构包括透明基板、位于透明基板上的图案化层、以及位于透明基板上的偏光过滤组件。透明基板对于照明光实质上是透明的、图案化层对于照明光实质上至少是部份不透明的、而偏光过滤组件得以选择性地极化/偏振照明光...
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