下载有源矩阵基板、显示装置和有源矩阵基板的制造方法的技术资料

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有源矩阵基板(1)具有源极电极(32)、漏极电极(33)和含有氧化物半导体的半导体层(31),在栅极电极(12a)之上形成有含有氧化硅的栅极绝缘层(42),在栅极绝缘层(42)之上形成有源极电极(32)、漏极电极(33)和半导体层(31),...
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