下载TVS器件及制造方法的技术资料

文档序号:9464120

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本发明公开了一种TVS器件,该器件弃用扩散隔离,而采用高掺杂浓度的低阻衬底,衬底上方通过铟注入制作P型埋层,再进行一次低掺杂浓度外延淀积后制作N型埋层,两种埋层作重掺杂,利用两种不同类型埋层的掺杂浓度来调节瞬态电压抑制器的箝位电压,在埋层上...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

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