下载PMOS设备的中原位掺杂硅锗接合的技术资料

文档序号:9464016

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本发明涉及PMOS设备的中原位掺杂硅锗接合,提供一种具有PMOS嵌入式硅锗源极/漏极区的高介电常数金属栅极(HKMG)装置。本发明的实施例包含形成第一及第二HKMG栅极堆栈于基板上,该堆栈各自包含有二氧化硅盖、形成延伸区于该第一HKMG栅极...
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