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MOCVD自动控制器，由权限控管模块、资料收集模块、控制接口、设备接口、外部控制器、MOCVD设备、命令执行模块、集成面板、程序控制模块组成，其特征是集成面板的一端上侧设置控制接口，控制接口的下侧设置设备接口，集成面板的一侧上部设置资料收集...
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