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本发明公开了一种真空镀膜系统及其真空闸门装置。真空镀膜系统包括真空闸门装置及真空闸门板，真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；双摇杆机构连接在弹性密封机构与旋转驱动件之间...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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