【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种真空镀膜系统及其真空闸门装置。真空镀膜系统包括真空闸门装置及真空闸门板，真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；双摇杆机构连接在弹性密封机构与旋转驱动件之间。利用双摇杆机构实现弹性密封机构的弧线运动，结构简单，占用空间小，且便于安装及维护；采用简单的旋转驱动装置即可实现真空闸门装置的致动，金属密封板与真空闸门板面面贴合实现密封，提高密封性能；金属密封板具备良好的耐腐蚀和耐高温性能；由于弹性组件的弹性作用与金属密封板的配合具备一定柔性变形补偿作用，从而降低了真空闸门板及密封板的机械精度，降低加工及装配难度。【专利说明】一种真空镀膜系统及其真空闸门装置
本专利技术涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜系统及其真空闸门装置。
技术介绍
真空闸门的主要功能是实现真空腔室与腔室或真空腔室与外界之间的隔绝和联通，其广泛应用于各种真空镀膜装置。在现代真空镀膜技术中，为了提高膜层质量，减低交差污染和是渗透污染对膜层质量的影响，采用了一种回型真空腔室成为真空系统的必然发展趋势...
【技术保护点】
一种真空闸门装置，用于开关真空闸门板上的开口，其特征在于，所述真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；所述支撑座相对所述真空闸门板固定设置；所述弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；所述固定件位于所述金属密封板远离所述真空闸门板的一侧；所述金属密封板为平板状，用于与所述真空闸门板面面贴合以将所述开口封闭；所述弹性组件连接在所述固定件与所述金属密封板之间，用于提供弹力使所述金属密封板压紧于所述真空闸门板；所述双摇杆机构连接在所述弹性密封机构与所述旋转驱动件之间，其包括主动摇杆、从动摇杆及连杆，所述主动摇杆的一端传动连接于所述旋转驱动件、另一端转动...
【技术特征摘要】
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