温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种气相生长装置（1），具备：反应炉（5），能够装卸地设置有基座（3）以进行气相生长；运送机器人，运送所述基座（3）；手套箱（9），收容有该运送机器人及所述反应炉（5）；交换台（11），设置在该手套箱（9）内以在基座（3）的交换时...该专利属于大阳日酸株式会社;大阳日酸EMC株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大阳日酸株式会社;大阳日酸EMC株式会社授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种气相生长装置（1），具备：反应炉（5），能够装卸地设置有基座（3）以进行气相生长；运送机器人，运送所述基座（3）；手套箱（9），收容有该运送机器人及所述反应炉（5）；交换台（11），设置在该手套箱（9）内以在基座（3）的交换时...