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太阳能硅晶片双束激光双线划槽机，属于硅材料加工技术领域，它解决了太阳能硅晶片的双线划槽加工技术问题，提高了加工效率，所采用的技术方案在于，采用双束激光输出的Ｎｄ：ＹＡＧ激光器，配置移动平台，其技术方案要点在于，设计采用了Ｚ型谐振腔双输出结构...
该专利属于无锡浩波光电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡浩波光电子有限公司授权不得商用。

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