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本实用新型公开一种蒸发镀膜机用的电极装置,包括电极棒、电极输入棒气缸和连接座,电极输入棒一端与电极棒连接,电极输入棒另一端通过连接座与气缸连接,气缸竖直设于电极输入棒上方,气缸与电极输入棒同轴设置。本电极装置将气缸竖直设于电极输入棒上方并与...该专利属于肇庆市腾胜真空技术工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过肇庆市腾胜真空技术工程有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种蒸发镀膜机用的电极装置,包括电极棒、电极输入棒气缸和连接座,电极输入棒一端与电极棒连接,电极输入棒另一端通过连接座与气缸连接,气缸竖直设于电极输入棒上方,气缸与电极输入棒同轴设置。本电极装置将气缸竖直设于电极输入棒上方并与...