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脆性材料基板的划线方法和划线装置以及脆性材料基板的切断系统制造方法及图纸
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下载脆性材料基板的划线方法和划线装置以及脆性材料基板的切断系统的技术资料
文档序号:943906
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根据本发明的脆性材料基板的划线方法和划线装置以及切断系统,在脆性材料基板的划线加工时,防止向不特定方向发生无法控制的不需要的裂纹。当母玻璃基板(90)由设置在第一保持工作台(21)以及第二保持工作台(22)的表面上的吸引孔且利用真空泵等吸引...
该专利属于三星钻石工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业株式会社授权不得商用。
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