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提供具有能够降低由曝光后的光掩膜剥离表膜时的残胶、释气的产生少的粘合剂的表膜。本发明的表膜，其具有表膜框、张架于表膜框的一端面的表膜用膜、和附着于另一端面的粘合剂，粘合剂含有(甲基)丙烯酸烷基酯共聚物和硅烷化合物，(甲基)丙烯酸烷基酯共聚物...
该专利属于旭化成电子材料株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过旭化成电子材料株式会社授权不得商用。

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