下载一种制备高Al组分的AlGaN材料的p型欧姆接触层的方法及应用的技术资料

文档序号:9435392

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本发明公开了一种制备高Al组分的AlGaN材料的p型欧姆接触层的方法及应用,属于半导体光器件制造技术领域,包括:1)在生长衬底上制备基础芯片结构;2)在金属基片上制备单层石墨烯;3)将步骤2)制得的石墨烯转移到转移介质上,并进行图案画处理;...
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