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一种制备高Al组分的AlGaN材料的p型欧姆接触层的方法及应用技术
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下载一种制备高Al组分的AlGaN材料的p型欧姆接触层的方法及应用的技术资料
文档序号:9435392
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本发明公开了一种制备高Al组分的AlGaN材料的p型欧姆接触层的方法及应用,属于半导体光器件制造技术领域,包括:1)在生长衬底上制备基础芯片结构;2)在金属基片上制备单层石墨烯;3)将步骤2)制得的石墨烯转移到转移介质上,并进行图案画处理;...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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